商品名：ＵＬＶＡＣ 三相２００Ｖ ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
（株）アルバック コードNo: DAL-361S
オレンジブック発注コード：460-0134
JANコード：4571133302409
特徴
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用途
●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。
●分析機器、理化学機器。
●半導体検査装置。
●デバイス組立。
●自動機、包装機。
仕様
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仕様2
●到達圧力(KPa)：17.3
●吸排気管径(mm)：O.D.φ21×I.D.φ15(G1/2)
●最大寸法(mm)：388(W)×523.6(L)×274(H)
材質/仕上げ
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セット内容・付属品
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注意事項
●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。
●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。
